2018 ІÌÔ (Інсти тут металофізики ім. Ã. В. Курдюмова НÀН Óкраїни) Надруковано в Óкраїні. Ôотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії Ключові слова: фосфід ґалію, електрохемічне щавлення, морфологія, поруваті напівпровідники, умови щавлення.