Large-area and double-sided pulsed laser deposition of Y-Ba-Cu-O thin films applied to HTSC microwave devices

Lorenz, Michael; Hochmuth, H.; Natusch, D.; Börner, H.; Thärigen, T.; Patrikarakos, D.G.; Frey, Jerome; Kreher, K.; Senz, Stephan; Kästner, G.; Hesse, D.; Steins, M.; Schmitz, W.

doi:10.1109/77.620738

Cited by 29 publications

(9 citation statements)

References 6 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Unfortunately, this method will result in a significant reduction of the sputtering rate. The second possibility, which has been the most widely used since the discovery of the HTS, is to work in the commonly used gas pressure region (10)(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)(19)(20) and to avoid substrate bombardment by proper choice of the position of the substrates. More strictly speaking, the substrate position is optimum at locations where the ratio of bombardment rate and deposition is minimized.…”

Section: Sputter Deposition Techniquementioning

confidence: 99%

See 1 more Smart Citation

Sputter deposition of large-area double-sided YBCO superconducting films

Xiong

Tao

2011

High-Temperature Superconductors

View full text Add to dashboard Cite

Section: Sputter Deposition Techniquementioning

confidence: 99%

“…5,[11][12][13] And in this case, a simple planar heater with uniform temperature distribution is good enough. But the overheating of the first side during the second side deposition may cause the quality of the film to deteriorate, so simultaneous deposition is preferable in order to maintain side-to-side equality.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 97%

Sputter deposition of large-area double-sided YBCO superconducting films

Xiong

Tao

2011

High-Temperature Superconductors

View full text Add to dashboard Cite

“…Figures 2 and 3 are a proof for the good reproducibility of the large-area PLD, which is obtained after more than 5 years optimization work on the process. Indeed, C-band filters w i t h very good bandpass performance which are suitable for satellite communication subsystems have been structured from PLD-YBC0:Ag thin films at Robert BOSCH GmbH [8]- [lo]. Therefore, the PLD process is space qualified to ensure the use of PLD-YBCO films in future satellite communication systems [ 121.…”

Section: Tem Cross-sections Of Pld-ybco Filmsmentioning

confidence: 99%

High-quality Y-Ba-Cu-O thin films by PLD-ready for market applications

Lorenz

Hochmuth

Matusch³

et al. 2001

IEEE Trans. Appl. Supercond.

Self Cite

View full text Add to dashboard Cite

Large-area pulsed laser deposition (PLD) has reached a state in terms of film quality and reproducibility which makes possible now real market applications of PLDYBazCu3074 (YBCO) thin films on both sides of R-plane sapphire substrates as HTSC devices in satellite and mobile communication systems. Bandpass filters optimized from PLD-YBCO thin films presently fulfill the requirements of the main national companies which are active in future communication techniques. A relatively simple PLD arrangement with fixed laser plume and rotating substrate, with an offset between the laser plume and the center of the substrate is employed to deposit laterally homogeneous 3-inch diameter Ag-doped YBCO thin films. With the experience of more than 1, OOO doublesided 3-inch diam. films a high degree of homogeneity and reproducibility of j, and R is reached. The extension up to &inch substrate diameter will increase the productivity of the flexible PLD technique considerably.Index Terms-High-temperature superconducting thin films, microwave devices, pulsed laser deposition, YBazCu3074.

show abstract

“…Якщо звичайно цю за-лежність можна оцінити як (cosθ) 14 , то у цьому випадку вона була близькою до (cosθ) 7 . При порівнянні складу плазми, що утворена під дією ексимерно-го лазера [15][16][17] та YAG-лазера [18,19], помічаються суттєві від-мінності. Якщо загальна густина енергії одного порядку, то спектр плазми, збудженої ексимерним лазером, багатший та інтенсивні-ший, за винятком лінії Ba 2+ біля 455 нм [18].…”

Section: лазерна ґенерація високотемпературної плазми та лазерні параunclassified

Physicotechnological Principles of Deposition of Thin High-T$_{c}$ Superconducting Films of YBa$_{2}$Cu$_{3}$O$_{7-\delta}$

et al. 2006

View full text Add to dashboard Cite

Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модер-нізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa 2 Cu 3 O 7−δ плівок та бар'єрних шарів СеО 2 з контрольо-ваною кристалічною структурою і високими надпровідними властивос-тями плівок YBa 2 Cu 3 O 7−δ . У результаті роботи розроблено фізико-техноло-гічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa 2 Cu 3 O 7−δ на діе-лектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар'єрного шару CeO 2 , як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетрон-ного розпорошення. Виконано оптимізацію технологічних режимів оса-дження плівок обома методами. Показано, що за оптимальних умов оса-дження можна одержувати епітаксійні плівки YBa 2 Cu 3 O 7−δ з контрольо-ваною наноструктурою, як методою імпульсного лазерного осадження, так і методою магнетронного розпорошення. При цьому можливо контро-льовно змінювати надпровідні властивості ВТНП-плівок YBa 2 Cu 3 O 7−δ , як за струмонесною спроможністю, так і за поверхневим імпедансом на над-високих частотах. Густина критичного струму надпровідних плівок в за-лежности від кількости лінійних дефектів (крайових дисльокацій) може коливатися від 7⋅10 6 A/см 2 при 77 К у нульовому магнетному полі для гус-тини лінійних дефектів близько 10 11 см −2 до ×10 5 A/см 2 у таких самих умовах міряння для густини лінійних дефектів близько 10 10 см −2 . В той же час поверхневий опір для тих самих плівок, міряний при 77 К на частоті 135 ГГц, в залежности від густини лінійних дефектів змінюється від 160 мОм до 115 мОм, відповідно. Розроблені технології надалі можуть ви-користовуватися для виготовлення плівкових НВЧ-фільтрів у мобільно-му, стільниковому та супутниковому зв'язку, а також для створення дов-гомірних, так називаних покритих провідників із високою струмонесною здатністю в сильних магнетних полях для електротехнічних застосувань та у мережах електропередач.

show abstract

Large-area and double-sided pulsed laser deposition of Y-Ba-Cu-O thin films applied to HTSC microwave devices

Cited by 29 publications

References 6 publications

Sputter deposition of large-area double-sided YBCO superconducting films

Sputter deposition of large-area double-sided YBCO superconducting films

High-quality Y-Ba-Cu-O thin films by PLD-ready for market applications

Physicotechnological Principles of Deposition of Thin High-T$_{c}$ Superconducting Films of YBa$_{2}$Cu$_{3}$O$_{7-\delta}$

Contact Info

Product

Resources

About