Laser ablation of thin molybdenum films on transparent substrates at low fluences

Heise, G.; Englmaier, Marina; Hellwig, Christian; Kuznicki, Thomas; Sarrach, Sebastian; Huber, Heinz P.

doi:10.1007/s00339-010-5993-5

Cited by 74 publications

(49 citation statements)

References 17 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Currently the ablation of metal films is widely used by laser radiation in such areas as semiconductor production, photo-electric devices, diffraction lattices and other hightechnology appendices [1][2][3][4][5][6][7][8][9]. In this field researches is actual the task of forming of the amplitude diffraction optical elements (DOE), and also the masking layers applied to transfer of a microrelief in a substrate is actual.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

“…In this field researches is actual the task of forming of the amplitude diffraction optical elements (DOE), and also the masking layers applied to transfer of a microrelief in a substrate is actual. In this respect is perspective thin films of molybdenum [6] as molybdenum has the following features are perspective: -low temperatures of oxidation of metal, and oxide sublimation; -high ratio of heat diffusivities metal/oxide. In works [10][11][12] the possibility of forming of optical microstructures by a laser ablation of thin films of molybdenum is shown.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

See 1 more Smart Citation

The Efficiency of Optical Microstructures Formed on Molybdenum Films

Poletayev¹,

Volotovskiy²

2016

Collection of Selected Papers of the II International Conference on Information Technology and Nanotechnology

View full text Add to dashboard Cite

Abstract.We have considered influence of technological errors of formation of the amplitude optical lattices made by method of a laser ablyation of thin films of molybdenum on distribution of diffraction orders in a distant zone of diffraction. For this purpose we have digitized a profile of a site of the created diffraction structure with the subsequent transformation to amplitude or phase functions of a transmission.Keywords: diffractive microrelief, metallic mask, laser ablation, thermochemical recording, film molybdenum, reactive ion etching.Citation: Poletaev SD, Volotovsky SG. The efficiency of optical microstructures formed on molybdenum films.

show abstract

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

The Efficiency of Optical Microstructures Formed on Molybdenum Films

Poletayev¹,

Volotovskiy²

2016

Collection of Selected Papers of the II International Conference on Information Technology and Nanotechnology

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…In [14] have demonstrated the possibility of ablation of molybdenum films with a thickness of about 0.5 μm picosecond laser beam with a wavelength of 1064 nm, deposited on a sublayer of silicon nitride thickness of about 140 nm. The grounds were glass substrate of a thickness of 3 mm.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

The research of the properties of thin films of molybdenum to form the contact masks for diffractive optics elements

Полетаев¹

2015

Collection of Selected Papers of the I International Conference on Information Technology and Nanotechnology

View full text Add to dashboard Cite

Abstract.Researched the parameters of the microstructures, obtained by laser termochemical space recording in films of molybdenum with a thickness of 17, 35 and 70 nm, deposited on a glass and quartz substrates. Graphs of the spatial resolution of the microstructures as a function of the laser power are plotted for different substrate materials. It is shown that a higher spatial resolution of the microstructures can be achieved in the molybdenum films with a 17 nm thickness.Keywords: microstructure, laser ablation, thermal recording of a molybdenum film, glass and quartz substrates Citation: Poletaev S.D. The research of the properties of thin films of molybdenum to form the contact masks for diffractive optics elements.

show abstract

“…Опираясь на [14], мы предложили подход, осно-ванный на абляции участков плёнки молибдена, под-вергнутых воздействию лазерного излучения [15].…”

Section: Introductionunclassified

“…В работе [14] была показана возможность абляции молибденовых плёнок толщиной около 0,5 мкм пико-секундным лазерным лучом с длиной волны 1064 нм, нанесённых на подслой нитрида кремния толщиной около 140 нм. Основанием служили стеклянные под-ложки толщиной 3 мм.…”

Section: Introductionunclassified

Application of thin molybdenum films in contact masks for manufacturing the micro-relief of diffractive optical elements

Волков¹,

Моисеев²,

Полетаев³

et al. 2014

Computer Optics

View full text Add to dashboard Cite

1 Институт систем обработки изображений РАН, 2 Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва(национальный исследовательский университет) (СГАУ), 3 ООО «Интерлаб» Аннотация Исследованы параметры микроструктур, полученных по технологии лазерной термохи-мической записи в плёнках молибдена с толщинами 17, 35 и 70 нм, нанесённых на стеклян-ные и кварцевые подложки. Построена зависимость пространственного разрешения микро-структур от мощности лазерного излучения для различных материалов оснований. Показа-но, что более высокого пространственного разрешения микроструктур можно добиться в плёнках молибдена толщиной 17 нм.Ключевые слова: микроструктуры, лазерная абляция, термохимическая запись, плёнки молибдена, стеклянная и кварцевая подложки. ВведениеПредставляется перспективным использование в различных областях науки и техники дифракционных оптических элементов (ДОЭ), которые представляют собой пластины с формированной на их поверхности микроструктурой [1,2]. Важнейшим этапом изготов-ления микрорельефов является получение контакт-ных масок, устойчивых к плазмохимическим процес-сам, необходимым для передачи рассчитанной мик-роструктуры ДОЭ в подложку. Ранее для этого были распространены литографические («мокрые») техно-логии [3 -8].В настоящее время для уменьшения размеров элементов микроструктур широко применяется ме-тод формирования топологического рисунка непо-средственно в исходном слое материала контактной маски без использования фоторезистов. Он основан на локальной обработке тонких плёнок хрома сфо-кусированным лазерным излучением [9, 10], под воздействием которого происходит термохимиче-ское преобразование поверхностного слоя рабочего материала.Недостаток данной технологии заключается в низком разрешении, около 0,8 мкм. Поэтому актуаль-на задача разработки технологических приёмов, по-зволяющих преодолеть этот барьер. Такой результат возможен за счёт поиска и применения материалов с контрастными характеристиками, позволяющими из-бирательно использовать максимум актинирующего излучения. В этом отношении известен ряд работ, где вместо хрома предлагаются различные альтернатив-ные материалы, такие как кремний, фосфид индия и оксиды различных металлов [11 -13]. В отличие от стандартной технологии все они предлагают форми-ровать микроструктуры путём испарения (абляции) материалов.В работе [14] была показана возможность абляции молибденовых плёнок толщиной около 0,5 мкм пико-секундным лазерным лучом с длиной волны 1064 нм, нанесённых на подслой нитрида кремния толщиной около 140 нм. Основанием служили стеклянные под-ложки толщиной 3 мм.Опираясь на [14], мы предложили подход, осно-ванный на абляции участков плёнки молибдена, под-вергнутых воздействию лазерного излучения [15].Цель настоящей работы заключается в исследова-нии геометрических параметров контактной маски, полученной по технологии лазерной абляции плёнок молибдена в зависимости от толщины плёнок, что по-зволит выработать оптимальные условия проведения технологического процесса. Методы и материалыОснованием служили оптичес...

show abstract

Laser ablation of thin molybdenum films on transparent substrates at low fluences

Cited by 74 publications

References 17 publications

The Efficiency of Optical Microstructures Formed on Molybdenum Films

The Efficiency of Optical Microstructures Formed on Molybdenum Films

The research of the properties of thin films of molybdenum to form the contact masks for diffractive optics elements

Application of thin molybdenum films in contact masks for manufacturing the micro-relief of diffractive optical elements

Contact Info

Product

Resources

About