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Andersen, Sune Klint; Johannessen, Tue; Mosleh, Majid; Wedel, Stig; Tranto, Jane; Livbjerg, Hans

doi:10.1023/a:1021607106511

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“…Nevertheless, it is doubtful if fully dense films are achievable, without melting the metal oxide, as disintegration occurs before. [79] Some methods, such as vapor-fed aerosol flame synthesis (VAFS: Figure 7) are also able to produce semiconductor nanoparticles of controlled size and crystallinity [80] but to date have not been utilized for direct deposition of sensing films. [81][82][83] …”

Section: Semiconductor Gas Sensorsmentioning

confidence: 99%

“…However, high-temperature (> 1000 8C) annealing may also not be applicable as it was reported that highly porous, particulate films tend to disintegrate above a given sintering temperature. [79] Recently, stabilization of FSP-made SnO 2 films was achieved by rapid (30 s) in situ annealing with a particlefree flame. [51] The SnO 2 crystal size was not altered while the film porosity was reduced drastically, thus increasing the film mechanical stability.…”

Section: Mechanical Stability Of Physically Bounded Particulate or Himentioning

confidence: 99%

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Semiconductor Gas Sensors: Dry Synthesis and Application

2010

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Since the development of the first chemoresistive metal oxide based gas sensors, transducers with innovative properties have been prepared by a variety of wet- and dry-deposition methods. Among these, direct assembly of nanostructured films from the gas phase promises simple fabrication and control and with the appropriate synthesis and deposition methods nm to μm thick films, can be prepared. Dense structures are achieved by tuning chemical or vapor deposition methods whereas particulate films are obtained by deposition of airborne, mono- or polydisperse, aggregated or agglomerated nanoparticles. Innovative materials in non-equilibrium or sub-stoichiometric states are captured by rapid cooling during their synthesis. This Review presents some of the most common chemical and vapor-deposition methods for the synthesis of semiconductor metal oxide based detectors for chemical gas sensors. In addition, the synthesis of highly porous films by novel aerosol methods is discussed. A direct comparison of structural and chemical properties with sensing performance is given.

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Section: Semiconductor Gas Sensorsmentioning

confidence: 99%

Section: Mechanical Stability Of Physically Bounded Particulate or Himentioning

confidence: 99%

Semiconductor Gas Sensors: Dry Synthesis and Application

2010

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“…Furthermore, the in situ annealing of micropatterns can be applied to a wide range of nanoparticle compositions and coating processes such as filtration [21] and electrophoretic deposition, [2] since it rapidly transforms highly porous layer or film morphologies to denser ones firmly adhering to the substrate. This is a key process design feature that facilitates the development of large-scale nanoparticle deposition methods.…”

mentioning

confidence: 99%

Micropatterning Layers by Flame Aerosol Deposition‐Annealing

Tricoli¹,

Gräf²,

Mayer³

et al. 2008

Advanced Materials

141

243

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“…Es ist aber zweifelhaft, ob eine Herstellung vollständig dichter Filme ohne ein Schmelzen des Metalloxids möglich ist, da bereits vorher eine Zersetzung eintritt. [79] Halbleiternanopartikel mit einer kontrollierten Größe und Kristallinität können auch durch andere Methoden wie die Flammenaerosolsynthese (vapor-fed aerosol flame synthesis, VAFS; Abbildung 7) erzeugt werden, [80] aber diese Verfahren wurden bisher noch nicht für die Direktabscheidung von Sensorfilmen angewendet. [81][82][83] …”

Section: Schnelle Trockensyntheseunclassified

“…Andererseits könnte auch eine hohe Sintertemperatur (> 1000 8C) ungünstig sein, da hochporöse Partikelfilme ab einer bestimmten Temperatur zum Zerfall neigen. [79] Jüngst gelang die Stabilisierung von FSP-SnO 2 -Filmen durch schnelles (30 s) In-situ-Tempern mit einer partikelfreien Flamme. [51] Die Größe der SnO 2 -Kristalle veränderte sich dabei nicht, aber die Porosität des Films nahm drastisch ab, was den Film mechanisch stabiler machte.…”

Section: Flammenspraysynthese Von Partikelfilmenunclassified

Halbleitergassensoren: Trockensynthese und Anwendung

2010

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Seit der Entwicklung erster Chemiresistorgassensoren auf Metalloxidbasis wurden Wandler mit neuartigen Eigenschaften durch Nass‐ und Trockenabscheidung erzeugt. Der Direktaufbau nanostrukturierter Filme aus der Gasphase verspricht dabei eine einfache Herstellung und Steuerbarkeit, und mit geeigneten Synthese‐ und Abscheidungsmethoden können nm‐ bis μm‐dicke Filme hergestellt werden. Dichte Strukturen werden durch chemische oder Dampfabscheidungsverfahren unter kontrollierten Bedingungen erzeugt, Nanopartikelfilme durch Abscheidung mono‐ oder polydisperser, aggregierter oder agglomerierter Nanopartikel aus einem Gas. Durch schlagartiges Abkühlen während der Synthese lassen sich neuartige Materialien in Nichtgleichgewichts‐ oder substöchiometrischen Zuständen einfangen. Dieser Aufsatz beschreibt die gängigsten Verfahren für die Herstellung von Metalloxid‐Halbleiterdetektoren für chemische Gassensoren. Außerdem wird die Synthese hochporöser Filme mit neuentwickelten Aerosoltechniken diskutiert. Die chemischen und Struktureigenschaften werden der erhaltenen Sensorleistung gegenübergestellt.

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Semiconductor Gas Sensors: Dry Synthesis and Application

Semiconductor Gas Sensors: Dry Synthesis and Application

Micropatterning Layers by Flame Aerosol Deposition‐Annealing

Halbleitergassensoren: Trockensynthese und Anwendung

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