Mass and energy analysis of positive ions emitted from metallic targets bombarded by heavy ions in the keV energy region

Abstract

Mass spectra of positive ions emitted from polycrystalline metallic targets (Al, Mn, Co, Ta) were analyzed by the mass spectrometric method when the targets were bombarded by the analyzed Ar+ ion beam of 40-keV energy. Single- and multiple-charged atomic components, as well as single-charged molecular components, were detected. The energy distribution curves for some mass-spectra components, measured by the retarding potential method, are presented.

Kinetic electron ejection by scattered neutralized positive ions

“…ary ions as well as electrons ejected from the grid by fast scattered primary atoms and by scattered noble gas metastable atoms and ions. Scattered ions probably contribute only a very small proportion of the current (Jurela and Perovic 1968).…”

Distributions énergétiques des ions secondaires

“…L'étude des distributions énergétiques a souvent été menée à l'aide de dispositifs de filtrage adaptés sur des spectromètres de masse [1], [2]. Cependant, la résolution insuffisante de ces dispositifs ne permettait pas de relever la forme des distributions en énergie des ions en dessous d'une dizaine d'électrons-volts environ.…”

“…L'angle am est donné par avec où 11 est la distance entre l'objet et l'électrode d'accélération, q la charge de l'ion, e la charge élémentaire. Les énergies Eo et Ec qui figurent dans les relations (1) ainsi que dans les expressions suivantes (2) et (3) sont exprimées en électrons-volts.…”