Metrology (including Materials Characterization) for Nanoelectronics

Diebold, Alain C.

doi:10.1063/1.2062935

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“…Las mediciones de estas propiedades son realizadas por herramientas como el microscopio electrónico de barrido (SEM), el microscopio de fuerza atómica (AFM), el microscopio de efecto túnel (STM) y el microscopio electrónico de transmisión (TEM), que permite conocer el funcionamiento y las propiedades a gran escala de los materiales con los que son fabricados estos dispositivos [20]. Adicional a las técnicas de microscopía, también se emplea la nanometrología dimensional, que permite inspeccionar la geometría y el tamaño de las estructuras, lo mismo que la automatización del proceso de inspección, la cual es apoyada por los sistemas asistidos por computador (CAD) y la calidad asistida por computador (CAQ), así como también por los sensores de alta precisión [21].…”

Section: Industrias Potencialesunclassified

“…Esta es una técnica de medición en la cual se utilizan datos históricos a manera de identificar patrones de medida, los cuales de forma repetitiva describen el sistema a controlar según tendencias y correlaciones, así como información de la maquinaria, para ajustar la posición de las herramientas de fabricación con el fin de identificar posibles fallos y realizar mantenimiento preventivo. Con base en esto es posible observar que la metrología virtual contribuye a la generación de patrones o referentes de medición, los cuales proporcionan, en tiempo real, la información necesaria para que los ingenieros ajusten y controlen sus procesos [19][20][21][22][23][24][25][26]. Esta técnica pretende solucionar la falencia de la metrología en este campo, ya que actualmente los procesos metrológicos aplicados en esta industria aumentan el ciclo del proceso y no le aportan ningún valor agregado a la oblea, además pretende garantizar la calidad de cada oblea dado que en el momento solo se garantiza la calidad de una muestra por lote [24].…”

Section: Herramientas Para El Aseguramiento Metrológicounclassified

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Nanometrología: Impacto en los sistemas de producción

Gómez

Jaramillo

2016

Cien.Ing.Neogranadina

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<p>El presente trabajo es el resultado de una revisión bibliográfica sobre: la aplicación de la nanometrología en diferentes sectores industriales y cómo esta contribuye a alcanzar los estándares de calidad de los productos a través de la medición de parámetros críticos en los procesos productivos; así como una descripción de los retos a los que se enfrenta esta ciencia en diferentes sectores. Se reportan los avances y el desarrollo de nuevas técnicas que permiten medir las características de los nanodispositivos, nanomateriales y equipos, lo que ha permitido potenciar el desarrollo de industrias, una disminución de los costos y la automatización de los procesos. Dentro del texto se hace referencia a industrias en progreso y el efecto que tiene el control de parámetros para la optimización de los procesos, el diseño de nanodispositivos y la creciente necesidad de la reglamentación en el uso de nanocompuestos, el diseño de técnica confiables y de protocolos para el uso de nanopartículas. El adelanto de la nanometrología ha contribuido al desarrollo de materiales de referencia, herramientas que aumenten la exactitud y precisión de las medidas, así como técnicas para la calibración de las herramientas y equipos apropiados para las medidas a nanoescala, lo que se traduce en un proceso productivo controlado que garantiza la calidad de los productos. Finalmente, se incluye el estado de la nanometrología en Colombia, enfocada en procesos industriales, como: el sector de alimentos, textil, salud y producción de nanomateriales, así como el trabajo desarrollado por grupos de investigación.</p>

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Section: Industrias Potencialesunclassified

Section: Herramientas Para El Aseguramiento Metrológicounclassified

Nanometrología: Impacto en los sistemas de producción

Gómez

Jaramillo

2016

Cien.Ing.Neogranadina

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“…In contrast, laboratory instruments, such as those used to determine chemical composition and stoichiometry, require a high degree of accuracy, with measurement precision being somewhat less critical [2]. Additionally, the absolute accuracy of the measurement is generally of secondary importance in production applications, since metrology results are often used to detect excursions once processes have been stabilized and control points have been established.…”

Section: Metrology Vs Inspectionmentioning

confidence: 99%

The Opportunities and Challenges of Bringing New Metrology Equipment to Market

Perloff¹

2005

AIP Conference Proceedings

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Elements for successful sensor-based process control {Integrated Metrology} AIP Conf. Proc. 449, 47 (1998); 10.1063/1.56836 Metrology needs for the semiconductor industry over the next decade AIP Conf. Proc. 449, 3 (1998); 10.1063/1.56823Gauging the future: The long term business outlook for metrology and wafer inspection equipment AIP Conf.Abstract. This paper provides an overview of the economic and technological factors which are driving the demand for new metrology and inspection equipment, the challenges and opportunities facing new companies in bringing such equipment to market, and the funding environment in which new companies must raise capital to finance their efforts. Seven metrology companies and one inspection equipment company that have received first-time venture backing since 2000 are used to illustrate how these specialized businesses are launched and funded.

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“…Since the metrology needs for nanoelectronics were recently reviewed 1 , this paper will discuss the impact of nanosized features on measurement. In order to facilitate this discussion, the evolution of transistors is first described.…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%

Metrology (including materials characterization) for nanoelectronics

Diebold¹,

Price²,

Hung³

2006

SPIE Proceedings

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Integrated circuits have already entered the world of nanoelectronics. According to the International Technology Roadmap for Semiconductors, the industry will be extending CMOS technology through new materials and device structures for at least the next fifteen years. During that time, the gate length of nanotransistors will shrink to less than 10 nm. The electrical properties of nano-transistors will move into regime of short channel devices where new physics will result in changes in transistor operation. The number of transistors in a single IC is already approaching a number that results 2 billion functions per IC by 2010. Nano-sized features and high density will challenge metrology and characterization and most certainly move measurement further into the world of nanotechnology. Beyond CMOS, new nano-technology based devices are being considered as a means of continuing the rapid pace of technological innovation in electronics.

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Metrology (including Materials Characterization) for Nanoelectronics

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Nanometrología: Impacto en los sistemas de producción

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The Opportunities and Challenges of Bringing New Metrology Equipment to Market

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