Micropatterned Films of Tungsten Nuclei for Subsequent Metallization Formed of a Phosphotungstic Acid‐Based Negative Resist

Abstract

pretation (easier extraction of thickness and conduction properties).

Protein-Resistant Cross-Linked Poly(vinyl alcohol) Micropatterns via Photolithography Using Removable Polyoxometalate Photocatalyst

“…The proposed approach for PVA crosslinking is based on the modification of a photolithographic process reported in the past for either deep ultraviolet (DUV) lithography 31 or the formation of metallic features by exploiting the presence of a polyoxometalate used as a photo-oxidation catalyst. 36 The cross-linking of PVA is initiated by the photoreduction of ammonium 18-tungtodiphosphate (Supporting Information scheme 1) or the photoreduction of 12-tungstophosphoric acid, commonly known as phosphotungstic acid, (Supporting Information scheme 2a), 37 which results in partial oxidation of the hydroxyl groups in the PVA molecules to carbonyls. Then, the PVA chains undergo dehydration during the postexposure bake and the products are condensed by Diels−Alder reactions during the same step to create a crosslinked PVA/12-tungstophosphoric acid film (Supporting Information scheme 2b) 31 or a cross-linked PVA/ammonium 18-tungtodiphosphate film, correspondingly.…”

Tungstate polyoxometalates as active components of molecular devices

“…8͒, although other systems have also been tested. 10,11 The host material should not react with the embedded molecules, thus altering their transport properties, and at the same time the composite material should preferably behave as a lithographic resist with nanometer resolution for nanofabrication process simplification reasons. PMMA meets both demands.…”

Φωτοχημική Τροποποίηση Λεπτών Πολυμερικών Υμενίων Για Εφαρμογές Στη Νανοβιοτεχνολογία

“…Η φωτολιθογραφική διεργασία της PVA είχε αναπτυχθεί για να εφαρμοστεί σε μικροηλεκτρονικές διατάξεις [149,150]. Το φωτοευαίσθητο υμένιο έχει εφαρμοστεί για τη μεταφορά σχήματος [149] και την εναπόθεση νικελίου [150] Από τις τιμές του Πίνακα 7 προκύπτει ότι τα διασταυρωμένα υμένια PVA παρουσιάζουν παρόμοιες γωνίες επαφής. Επομένως, δεν παρατηρήθηκε μεγάλη διαφορά στην υδροφιλικότητα της διασταυρωμένης πολυ(βινυλικής αλκοόλης) με την προσθήκη επιπλέον ποσότητας ΡVA.…”

“…Ακολούθως, μέσω αντιδράσεων Diels Alder, ενώνονται οι αλυσίδες με αποτέλεσμα τη διασταύρωση της PVA [149]. Η διεργασία αυτή έχει προταθεί στη βιβλιογραφία για την κατασκευή μικροηλεκτρονικών διατάξεων [149,150]. Για να εφαρμοστεί η φωτολιθογραφία της PVΑ στην κατασκευή βιοαναλυτικών διατάξεων ήταν απαραίτητη η τροποποίηση του σταδίου της εμφάνισης, έτσι ώστε σε αυτό το στάδιο να απομακρυνθούν οι ανέκθετες περιοχές αλλά ταυτόχρονα να απομακρυνθεί και το 12-βολφραμοφωσφορικό οξύ από την πολυμερική μήτρα, καθώς αν το 12βολφραμοφωσφορικό οξύ παραμείνει στην πολυμερική μήτρα τότε μπορεί να προκαλέσει ανεπιθύμητες αντιδράσεις στα βιομόρια που πρόκειται να ενεποτεθούν.…”

“…Ταυτόχρονα, ο πολυμερισμός επιβραδύνεται κατά τη διάρκεια του PEB λόγω της μείωσης της συγκέντρωσης των εποξειδικών δακτυλίων που δεν έχουν αντιδράσει και της μειωμένης κινητικότητας των μονομερών λόγω της αύξησης του φαινομένου κλωβού[146]. βινυλικής αλκοόλης) είχε αναπτυχθεί για να εφαρμοστεί σε μικροηλεκτρονικές διατάξεις[149,150]. Για τη φωτοχημική τροποποίηση της πολυ(βινυλικής αλκοόλης) χρησιμοποιήθηκε η φωτοευαίσθητη πολυοξομεταλλική ένωση (ΠΟΜ) 12-βολφραμοφωσφορικό οξύ (Η 3 ΡW 12 O40…”