Misfit Dislocations at the Critical Thickness for Ingaas/Gaas Strained Layers

Abstract

The contrast of misfit dislocations in an InGaAs layer, close to the critical thickness and capped with GaAs grown by MBE on a (001) oriented GaAs substrate has been investigated by double axis synchrotron X-radiation topography. The layer thickness variation as a function of position has been measured to a precision of 1A by matching interference fringes observed in the 004 symmetric reflection double crystal rocking curves with simulations. The misfit dislocation density is highly anisotropic, varying from zero to a high value with increasing thickness. The contrast of the dislocations in the 004, 224 and 044 reflections has been examined in detail. All of the long dislocation segments characterized were 60° in character with ½<110> Burgers vectors inclined to the specimen surface. No dislocations were found which did not appear to be of this type. A surprising difference in contrast of the background in the 224 and 224 reflections is discussed.

Методы Рентгеновской Дифракционной Топографии (О Б З О Р)

“…Было продемонстрировано хорошее согласие между экспериментально наблюдаемыми и рассчитанными изображениями для дислокаций несоответствия с использованием теории динамической дифракции [148,188,189]. Также было показано, что возможен анализ вектора Бюргерса дислокаций несоответствия, используя обычные правила погасания, и что можно получить изображения дислокаций несоответствия, используя отражение подложки [190] -важное обстоятельство при изучении тонких эпитаксиальных слоев.…”