Penelitian ini dilakukan untuk menganalisis literatur terkait dengan pengembangan Lembar Kerja Peserta Didik (LKPD) untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa. Tujuan dari penelitian ini antara lain: 1) mengetahui Lembar Kerja Peserta Didik yang dapat mengukur keterampilan proses sains siswa; 2) mengetahui materi serta tingkatan pendidikan yang diteliti pada Lembar Kerja Peserta Didik untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa. Manfaat dari penelitian ini yaitu untuk memudahkan peneliti dalam memperoleh literature yang layak untuk dianalisis terkait dengan judul penelitian yang akan dilakukan oleh peneliti. Metode dari penelitian ini yaitu menggunakan metode Systematic Literature Review (SLR) yaitu metode yang terdiri dari 4 langkah antara lain Identification, Screening, Eligibility dan Included. Hasil dari penelitian ini yaitu diperoleh sebanyak 6 literature yang layak untuk dianalisis. Hasil analisis artikel ini antara lain; 1) Ada beberapa macam LKPD IPA yang dapat mengukur keterampilan proses sains antara lain, Inkuiri Terbimbing, Learning Cycle 7E, Contextual Teaching and Learning (CTL), Nature of Science, Discovery Learning dan Inkuiri Terbimbing. 2) Materi yang banyak digunakan dalam pengembangan LKPD IPA untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa yaitu Pencemaran Lingkungan sebesar 49%. Tingkatan Pendidikan yang banyak digunakan dalam pengembangan LKPD IPA untuk meningkatkan keterampilan proses sains siswa yaitu SMP sebesar 67%.