2010
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2010.01.045
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Recent applications of plasma-based ion implantation and deposition to microelectronic, nano-structured, and biomedical materials

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
1
1

Citation Types

0
6
0
1

Year Published

2010
2010
2017
2017

Publication Types

Select...
7
2

Relationship

0
9

Authors

Journals

citations
Cited by 29 publications
(7 citation statements)
references
References 74 publications
0
6
0
1
Order By: Relevance
“…(2) In addition, the vacancy-argon complexes (vAr) also may dissociate forming an argon interstitial and a separate vacancy.…”
Section: Temperature Range IIImentioning
confidence: 99%
See 1 more Smart Citation
“…(2) In addition, the vacancy-argon complexes (vAr) also may dissociate forming an argon interstitial and a separate vacancy.…”
Section: Temperature Range IIImentioning
confidence: 99%
“…1,2 In addition to the main sputtering-deposition processes, different kinds of defects of a crystalline lattice, such as vacancies, interstitials, and their complexes, are induced near a surface under the ion irradiation. Further evolution of the defects can lead to their aggregation in clusters, forming nanocavities filled with the implanted gas.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%
“…Показана эффективность использования низкотемпературного метода ра-диочастотного магнетронного распыления для создания плазменного покрытия на поверхно-стях из NiTi с целью регулирования гидрофиль-ных свойств, повышения клеточной адгезии и АНАЛИТИЧЕСКИЕ ОБЗОРЫ улучшения биосовместимости [50,51]. Важным преимуществом модификации поверхности ме-тодом плазменно-иммерсионной ионной им-плантации и осаждения металлов (PIII&D) по сравнению с другими методами (механической, физической, химической) является способность избирательного изменения свойств поверхности в районе несколько сотен нанометров, в то время как характеристики основной площади материа-ла остаются неизменными [52,53]. Использова-ние различных ионов в методе PIII&D позволяет регулировать свойства поверхности для созда-ния благоприятных условий интеграции с теми или иными видами клеток.…”
Section: повышение биосовместимости металличе-ских поверхностей с помunclassified
“…DLC films can provide several attractive properties such as high hardness, good wear and electrical properties, chemical inertness and biocompatibility [3][4][5][6][7][8][9]. The structure and, hence, the properties of the films depend on the preparation technique and the specific preparation conditions, however.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%