The effect of thermal treatment on the structure, optical and electrical properties of amorphous titanium nitride thin films

Deposição de filmes finos de nitreto de titânio em plasma com efeito de comprimento de catodo oco em gaiola catódica

“…Provavelmente devido ao pequeno tempo de deposição, apenas 1 hora. Também contribuem para formação de filmes amorfos a baixa temperatura de deposição (300°C) e taxa de deposição relativamente alta [2]. Outro fator que pode contribuir é a proximidade do substrato à tampa fazendo com que partículas com energia relativamente elevada, vindas diretamente do furo, atinjam a superfície do substrato durante a deposição do filme.…”

“…Segundo Vasu [8] filmes de nitreto de titânio podem apresentar grãos condutores quando a composição do filme é estequiométrica (TiN) e grãos resistivos quando composição é subestequiométrica. Os valores encontrados para a resistividade, com exceção para as dos filmes E7G10 e E1G1, têm mesma ordem de grandeza dos valores encontrados por Tarniowy e colaboradores [2] para as resistividades de filmes finos de nitreto de titânio amorfos, entre 10 2 a 10 3 .cm. A medida de resistividade do filme E7G10 ficou bem menor que a dos demais filmes mas também muito maior do que a encontrada por Tarniowy para filmes cristalinos que foi dentro da faixa de 25 a 100 (.10 -6 ) .cm.…”

“…Esse trabalho tem como objetivo a utilização dessa técnica na deposição de filmes de nitreto de titânio que é um dos vários nitretos de metal de transição que desperta grande interesse industrial devido a sua alta dureza, alto ponto de fusão, boa resistência ao desgaste e à corrosão [2]. Por essas características ele é muito usado como cobertura para ferramentas de corte [3] como fresas e brocas que adquirem alta dureza e baixo desgaste por atrito fazendo com que tenham maior vida útil e bom desempenho de corte.…”

DEPOSIÇÃO DE FILMES DE TiN POR GAIOLA CATÓDICA EM ATMOSFERA DE PLASMA DE Ar-N2-H2

“…Recentemente tem sido estudadas outras aplicações de filmes de TiN, explorando suas propriedades ópticas. Para tal, filmes de TiN são depositados sobre vidro a fim de serem utilizados em janelas com controle de luminosidade, visto que o TiN absorve seletivamente a luz solar, gerando economia de energia (2,3) . A gaiola catódica é uma adaptação da nitretação iônica desenvolvida no Labplasma, com o intuito de diminuir os defeitos gerados pela técnica convencional.…”

On the Physical Nature of Traps in Polycrystalline Sb 2 O 3

“…Both types of traps have been found and extensively investigated in molecular organic crystal. Simultaneous presence of both types of carrier traps have been observed also in a number of polycrystalline molecular layers obtained by vacuum evaporation.Carrier traps are experimentally determined either by the space -charge -limited current (SCLC) method [1,2], by the thermostimulated current (TSC) method , or by photoemission. These methods give detailed information about the energetic and kinetic parameters of the traps , but practically no information about their possible physical nature.…”