“…термин " on-chip sensor", русскоязычный аналог этого термина -" система на кристалле", СНК). В одном из вариантов такой интеграции на единой монокристаллической полупроводниковой подложке создают микрооптопару, состоящую из оптически связанных диодных источника и приемника излучения c характерными размерами активных областей от 20 до 300 µm [5][6][7][8]. Под оптической связью при этом подразумевается доставка в приемник излучения источника, вышедшего из полупроводника [5,6], либо доставка излучения, не покидающего монолитный чип, т. е. излучения, распространяющегося внутри прозрачной подложки [7][8][9].…”