Многослойные Фоточувствительные Структуры На Основе Пористого Кремния И Соединений Редкоземельных Элементов: Исследования Спектральных Характеристик

Abstract

Исследованы спектральные характеристики коэффициента зеркального отражения, фоточувствительности и фотолюминесценции многослойных структур на основе пористого кремния с ионами редкоземельных элементов. Показано, что фоточувствительность таких структур в диапазоне длин волн 0.4−1.0 мкм повышена по сравнению со структурами без редкоземельных элементов. Структуры с ионами Er 3+ проявляют люминесцентные свойства при комнатной температуре в спектральном диапазоне от 1.1 до 1.7 мкм. Спектр фотолюминесценции эрбиевой примеси представлен тонкой структурой линий, отражающих структуру расщепления мультиплета 4 I 15/2 иона Er 3+ . Показано, что структуры с пористым слоем на рабочей поверхности имеют значительно более низкий коэффициент отражения во всем измеряемом спектральном диапазоне 0.2−1.0 мкм.