Д.А. Белорусов scite author profile

Сегнетоэлектрические пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST) синтезированы на платинированные кремниевые подложки методом ВЧ-распыления. На выращенные пленки методом электронно-лучевого распыления сформированы верхние электроды из никеля, алюминия, меди и хрома. Представлены результаты исследований электрофизических свойств полученных гетероструктур металл--диэлектрик--металл (МДМ) (Ме-BST-Pt-Si). Ключевые слова: сегнетоэлектрические пленки BST, структуры металл--диэлектрик--металл (МДМ), микроструктура, электрофизические свойства.

show abstract

scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.

Contact Info

customersupport@researchsolutions.com

10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614

Henderson, NV 89052, USA

This site is protected by reCAPTCHA and the Google Privacy Policy and Terms of Service apply.

Blog Terms and Conditions API Terms Privacy Policy Contact Cookie Preferences Do Not Sell or Share My Personal Information

Made with 💙 for researchers

Part of the Research Solutions Family.

Д.А. Белорусов

Формирование И Исследование Структур Металл--Диэлектрик--Полупроводник На Основе Пленок Оксида Гафния

Влияние Материала Верхнего Электрода На Электрофизические Свойства Мдм-Структур На Основе Сегнетоэлектрических Пленок

Contact Info

Product

Resources

About