11th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs. ISPSD'99 Proceedings (Cat. No.99CH36312)
DOI: 10.1109/ispsd.1999.764028
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COOLMOS/sup TM/-a new milestone in high voltage power MOS

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“…Cependant, cet inconvénient est plus que compensé par le fort niveau de dopage de ces bandes N, de telle sorte que la résistance passante spécifique de ces nouveaux composants est très inférieure à celle des composants conventionnels équivalents : à titre d'exemple, pour une tenue en tension de 600 Volts, un transistor COOLMOS™ présente une résistance passante spécifique 5 fois plus faible que celle d'un transistor VDMOS conventionnel à zone de drift uniforme [26] : cette valeur est même inférieure à la limite des composants VDMOS conventionnels.…”
Section: I51 Les Composants à Superjonctionunclassified
“…Cependant, cet inconvénient est plus que compensé par le fort niveau de dopage de ces bandes N, de telle sorte que la résistance passante spécifique de ces nouveaux composants est très inférieure à celle des composants conventionnels équivalents : à titre d'exemple, pour une tenue en tension de 600 Volts, un transistor COOLMOS™ présente une résistance passante spécifique 5 fois plus faible que celle d'un transistor VDMOS conventionnel à zone de drift uniforme [26] : cette valeur est même inférieure à la limite des composants VDMOS conventionnels.…”
Section: I51 Les Composants à Superjonctionunclassified
“…Indeed, this principle allows to overcome the 'breakdown voltage/on-state resistance' trade-off. This technology was chosen in particular by Infineon for the realization of COOLMOS™ transistors [1] and by STMicroelectronics for the realization of MDMESH™ devices [2]. However, the manufacturing cost of this technology can be very high because the process requires a multiple epitaxy technique, resulting in a significant number of masks.…”
mentioning
confidence: 99%
“…Note that the model can also be used for the offset drain structure, being the MV structure with the thickness of the field oxide being zero. HV LDMOS transistors often have a graded doping profile in the drift region to fullfill the conditions of the RESURF principle [3], [4], or use superjunction techniques [5]. At present, these HV devices are very technology dependent, and it would be difficult to develop one general model for this type of device; this task is left for a succeeding research project.…”
mentioning
confidence: 99%