Investigation of the Optical Properties of InSb Thin Films Grown on GaAs by Temperature-Dependent Spectroscopic Ellipsometry

Vật liệu InSb hứa hẹn được ứng dụng rộng rãi trong các nhiệm vụ dân sự và đến quân sự, từ lĩnh vực từ học cho đến quang học. Bài báo này trình bày kết quả chế tạo và khảo sát xác định hình thái cấu trúc cùng một số thuộc tính của màng mỏng InSb khi độ dày thay đổi. Các màng mỏng InSb được chế tạo bằng phương pháp lắng đọng laser xung (PLD) ở nhiệt độ 300 °C có độ dày thay đổi trong khoảng 150 nm - 2000 nm. Phép phân tích cấu trúc tinh thể (XRD) cho thấy màng mỏng kết tinh tốt ở tất cả các độ dày. Phép đo hiển vi lực nguyên tử (AFM) quan sát thấy sự tăng độ dày màng mỏng dẫn tới kích thước hạt tinh thể tăng lên (18 nm - 33 nm) và các hạt vi mô bao gồm nhiều hạt tinh thể. Ở độ dày màng mỏng < 500 nm, màng có độ nhám căn quân phương thấp (3 nm), và độ nhám này tăng lên (15 nm) khi độ dày màng ≥ 500 nm. Ảnh hiển vi điện tử quét (SEM) cho thấy tất cả các màng có cấu trúc liên tục, xếp chặt. Kết quả về cấu trúc tinh thể, hình thái vi mô được liên hệ để giải thích sự biến đổi tính chất quang của màng mỏng được chế tạo thông qua phép đo quang phổ hồng ngoại biến đổi Fourier (FTIR).

show abstract

scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.

Contact Info

customersupport@researchsolutions.com

10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614

Henderson, NV 89052, USA

This site is protected by reCAPTCHA and the Google Privacy Policy and Terms of Service apply.

Blog Terms and Conditions API Terms Privacy Policy Contact Cookie Preferences Do Not Sell or Share My Personal Information

Made with 💙 for researchers

Part of the Research Solutions Family.

Investigation of the Optical Properties of InSb Thin Films Grown on GaAs by Temperature-Dependent Spectroscopic Ellipsometry

Cited by 3 publications

References 26 publications

Morphology and Optical Characteristics of TiO2 Nanofilms Grown by Atomic-Layer Deposition on a Macroporous Silicon Substrate

Morphology and Optical Characteristics of TiO2 Nanofilms Grown by Atomic-Layer Deposition on a Macroporous Silicon Substrate

Absorption Coefficient of Bulk III-V Semiconductor Materials: A Review on Methods, Properties and Future Prospects

Ảnh hưởng của độ dày lên tính chất màng mỏng InSb chế tạo bằng phương pháp lắng đọng laser xung trên đế Silic

Contact Info

Product

Resources

About