1997
DOI: 10.1002/zaac.19976231208
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Trennung und massenspektrometrische Charakterisierung von Perchlorsiloxanen

Abstract: Gemische der sehr hydrolyseempfindlichen Perchlorsiloxane können mit Hilfe von Kapillargaschromatographie wirkungsvoll getrennt werden, wenn durch geeignete Vorsichtsmaßnahmen geringste Spuren von Wasser auszuschließen sind. Dann liefern GC‐MS‐Untersuchungen die Massenspektren der reinen Verbindungen, deren Fragmentierungsverhalten untersucht wurde. Das für anorganische Halogenverbindungen typische M+  Cl‐Ion ist für einen zweifelsfreien Nachweis der Siloxane nur bedingt geeignet. Sauerstoffarme Siloxane SinO… Show more

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“…The general preparation method is described in [1], Solid SÌ6O7CI10 could be isolated in small amounts by sublimation of one destillate fraction. …”
Section: Source Of Materialsmentioning
confidence: 99%
“…The general preparation method is described in [1], Solid SÌ6O7CI10 could be isolated in small amounts by sublimation of one destillate fraction. …”
Section: Source Of Materialsmentioning
confidence: 99%
“…Das Produktgem isch kann unter W ahrung entsprechender V orsichtsm assnah m en (extrem er Feuchtigkeitsausschluss) gaschro m atographisch getrennt werden. A uf der Basis früher durchgeführter U ntersuchungen [4] erfolg te der N achw eis m assenspektrom etrisch. N achfol gend sind in der R eihenfolge ihrer R etentionszeiten die nachgew iesenen Chlorsiloxane und ihre relati ven H äufigkeiten angegeben (SiCl4 ist nicht m it an gegeben).…”
Section: E Rgebnisse U N D D Iskussionunclassified
“…Der Partial druck des Si2OCl6 muss durch die Dampfdruckerniedri gung im Laufe der Zeit geringer werden, über den zeit lichen Verlauf des Gesamtdrucks können keine Angaben gemacht werden. Die Analysen erfolgten mittels GC-MS (SSQ 7000, Finnigan, Bremen), Einzelheiten siehe [4,5],…”
Section: Experimenteller Teilunclassified
“…The importance of siloxanes in chemical vapor deposition (CVD) processes has been repeatedly discussed. , In the combustion of SiCl 4 in O 2 , which leads to silicon dioxide, hundreds of intermediates of chlorosiloxanes have been detected. Such cluster compounds can be considered as connecting links between molecules and solids. Among the siloxanes, the silsesquioxanes of composition Si n O 3 n /2 R n (R = Cl, H, or other substituents) are most interesting.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%