Бериллий Как Материал Для Термостойких Рентгеновских Зеркал

Abstract

Thermophysical and mechanical characteristics of beryllium are compared with the corresponding characteristics of promising materials that are used for fabrication of precision mirrors working under high-intensity electromagnetic irradiation. Advantages and prospects for application of beryllium in the third- and fourth-generation synchrotrons are discussed. An original method for fabrication of ultrasmooth surfaces of beryllium substrates is presented, and limiting roughnesses are reported. Reflectances at a wavelength of 13.5 nm are determined for a multilayer Mo/Si mirror deposited on the beryllium substrate. Prospects for improving quality of polishing of beryllium substrates are discussed.

Применение Нанопорошков Окиси Церия Для Полировки Кремния

“…Как показали теоретические расчеты, которые полностью подтвердились на практике, для минимизации термоиндуцированных искажений формы в качестве материала подложек можно использовать только монокристаллический кремний. Другие материалы, в том числе карбид кремния и металлы (медь, алюминий, бериллий) по своим теплофизическим характеристикам сильно ему уступают [7,8].…”